制造一复合材料及选择一晶圆的方法

摘要

本发明系有关制造复合材料晶圆的方法，特别是绝缘体上矽型晶圆，其包含下列步骤：提供二晶圆并且使一晶圆连结，特别是黏合至另一者，而且其中为了减少晶圆边缘上面或附近引起的结晶缺陷量，进行测定边缘下降值的步骤，其中在离该晶圆边缘约0.5至2.5毫米处测定及/或使用高度外廓的二次导数测定该边缘下降值。本发明亦系有关选择晶圆的方法，并且有关此晶圆在复合材料晶圆的制造方法中之用途。