发明名称 使用参考脚垫来校正黏结座标之方法
摘要 本发明提供一种根据晶片和接脚位置校正黏结座标的方法。该方法具有搜寻晶片辨识区和接脚辨识区的位置,比较辨识区的侦测位置,和根据比较结果校正晶片和接脚的黏结座标;和如果搜寻晶片辨识区的位置失败时,搜寻参考脚垫,比较侦测的参考脚垫的位置和设定位置,并根据比较结果校正要黏结晶片和接脚的黏结座标。
申请公布号 TW200737366 申请公布日期 2007.10.01
申请号 TW095127834 申请日期 2006.07.28
申请人 三星技研股份有限公司 发明人 郑容福;曹廷镐
分类号 H01L21/52(2006.01) 主分类号 H01L21/52(2006.01)
代理机构 代理人 郑再钦
主权项
地址 韩国