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发明名称 CHEMICAL VAPOR PHASE GROWING METHOD OF METAL NITRIDE FILM AND PRODUCTION OF ELECTRONIC DEVICE USING THAT
摘要
申请公布号 JPH11256335(A) 申请公布日期 1999.09.21
申请号 JP19980055351 申请日期 1998.03.06
申请人 SONY CORP 发明人 MIYAMOTO TAKAAKI
分类号 H01L21/205;B81C1/00;C23C16/34;H01L21/285;(IPC1-7):C23C16/34 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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