| 发明名称 |
COUPLING MECHANISM AND WASHING OR DRYING DEVICE AND POLISHING DEVICE OF ARTICLE TO BE TREATED |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11254325(A) |
申请公布日期 |
1999.09.21 |
| 申请号 |
JP19980078495 |
申请日期 |
1998.03.10 |
| 申请人 |
EBARA CORP |
发明人 |
MATSUDA NAOKI;ITO KENYA;SHIRAKASHI MICHIHIKO |
| 分类号 |
B24B55/02;H01L21/304;(IPC1-7):B24B55/02 |
主分类号 |
B24B55/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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