| 发明名称 |
Application of fast etching glass for fed manufacturing |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
SG67471(A1) |
申请公布日期 |
1999.09.21 |
| 申请号 |
SG19980000058 |
申请日期 |
1998.01.06 |
| 申请人 |
CHARTERED SEMICONDUCTOR MANUFACTURING LTD |
发明人 |
CHAN LAP;CHOOI SIMON |
| 分类号 |
H01J9/02;(IPC1-7):H01J9/02 |
主分类号 |
H01J9/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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