发明名称 METHOD FOR CONCENTRATION OF WASTEWATER IN POLYSILICONE CUTTING
摘要
申请公布号 JPH11253708(A) 申请公布日期 1999.09.21
申请号 JP19980062590 申请日期 1998.03.13
申请人 SHINKO PANTEC CO LTD 发明人 TAKADA KAZUTAKA;KONISHI YOSHIO;TANIDA KATSUYOSHI;TAKEO YOSHIE
分类号 B01D29/25;B01D29/37;B01D35/22;(IPC1-7):B01D29/25 主分类号 B01D29/25
代理机构 代理人
主权项
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