发明名称 |
METHOD FOR CONTROLLING CRYSTAL BEARING OF VAPOR DEPOSITED FILM BY MAGNETIC FIELD |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH11256316(A) |
申请公布日期 |
1999.09.21 |
申请号 |
JP19980080542 |
申请日期 |
1998.03.13 |
申请人 |
ASAI SHIGEO;SASA KENSUKE |
发明人 |
ASAI SHIGEO;SASA KENSUKE;AZUMA KEISUKE |
分类号 |
H01F41/20;C23C14/22;C23C14/24;C23C14/54;H01L21/203;(IPC1-7):C23C14/24 |
主分类号 |
H01F41/20 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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