发明名称 METHOD FOR CONTROLLING CRYSTAL BEARING OF VAPOR DEPOSITED FILM BY MAGNETIC FIELD
摘要
申请公布号 JPH11256316(A) 申请公布日期 1999.09.21
申请号 JP19980080542 申请日期 1998.03.13
申请人 ASAI SHIGEO;SASA KENSUKE 发明人 ASAI SHIGEO;SASA KENSUKE;AZUMA KEISUKE
分类号 H01F41/20;C23C14/22;C23C14/24;C23C14/54;H01L21/203;(IPC1-7):C23C14/24 主分类号 H01F41/20
代理机构 代理人
主权项
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