发明名称 Semiconductor device and its manufacturing method
摘要
申请公布号 SG67516(A1) 申请公布日期 1999.09.21
申请号 SG19980001490 申请日期 1998.06.23
申请人 AKITA ELECTRONICS CO., LTD.;HITACHI ULSI SYSTEMS CO., LTD.;HITACHI, LTD. 发明人 AKIYAMA YUKIHARU;KUDAISHI TOMOAKI;OHNISHI TAKEHIRO;SHIMADA NORIOU;EGUCHI SHUJI;NISHIMURA ASAO;ANJO ICHIRO;TSUBOSAKI KUNIHIRO;MIYAZAKI CHUICHI;KOYAMA HIROSHI;SHIBAMOTO MASANORI;NAGAI AKIRA;OGINO MASAHIKO
分类号 H01L23/12;H01L21/60;H01L23/31;H01L23/495;(IPC1-7):H01L23/498 主分类号 H01L23/12
代理机构 代理人
主权项
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