| 发明名称 |
Method of mounting and demounting a semiconductor wafer and substance mixture suitable for carrying out the method |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
SG67579(A1) |
申请公布日期 |
1999.09.21 |
| 申请号 |
SG19980004389 |
申请日期 |
1998.10.30 |
| 申请人 |
WACKER SILTRONIC GESELLSCHAFT FUER HALBLEITERMATERIALIEN AG |
发明人 |
RURLAENDER ROBERT;FRANZE NORBERT;MANGS FRANZ;SCHNEGG ANTON |
| 分类号 |
C09J193/00;H01L21/304;H01L21/58;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/02 |
主分类号 |
C09J193/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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