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发明名称 Etching of silicon nitride
摘要
申请公布号 SG67561(A1) 申请公布日期 1999.09.21
申请号 SG19980003647 申请日期 1998.09.14
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 RATH, DAVID, L.;JAGANNATHAN RANGARAJAN;MCCULLOUGH, KENNETH, J.;OKORN-SCHMIDT, HARALD, F.;MADDEN, KAREN, P.;POPE, KEITH, R.
分类号 H01L21/306;H01L21/308;H01L21/311;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
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