| 发明名称 |
ETCHING METHOD OF CHROMIUM AND ETCHANT FOR CHROMIUM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11256369(A) |
申请公布日期 |
1999.09.21 |
| 申请号 |
JP19980058467 |
申请日期 |
1998.03.10 |
| 申请人 |
ASAHI DENKA KOGYO KK |
发明人 |
YAJIMA AKIMASA;ISHIZUKA YOSHITSUGU;TANAKA MASATOSHI |
| 分类号 |
H01L21/3063;C23F1/26;H01L21/336;H01L29/786;(IPC1-7):C23F1/26;H01L21/306 |
主分类号 |
H01L21/3063 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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