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发明名称
Self-aligned diffused source vertical transistors with stack capacitors in a 4f-square memory cell array
摘要
申请公布号
SG67457(A1)
申请公布日期
1999.09.21
申请号
SG19970004439
申请日期
1997.12.15
申请人
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION
发明人
BURNS, STUART, MCALLISTER, JR.;HANAFI HUSSEIN IBRAHIM
分类号
H01L21/8242;H01L21/8247;H01L27/108;H01L27/115;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L27/115;H01L21/824;G11C16/02;G11C11/40
主分类号
H01L21/8242
代理机构
代理人
主权项
地址
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