发明名称 Self-aligned diffused source vertical transistors with stack capacitors in a 4f-square memory cell array
摘要
申请公布号 SG67457(A1) 申请公布日期 1999.09.21
申请号 SG19970004439 申请日期 1997.12.15
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 BURNS, STUART, MCALLISTER, JR.;HANAFI HUSSEIN IBRAHIM
分类号 H01L21/8242;H01L21/8247;H01L27/108;H01L27/115;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L27/115;H01L21/824;G11C16/02;G11C11/40 主分类号 H01L21/8242
代理机构 代理人
主权项
地址