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发明名称
摘要
申请公布号 JP2951056(B2) 申请公布日期 1999.09.20
申请号 JP19910202764 申请日期 1991.08.13
申请人 SANYO DENKI KK 发明人 MURAI SHIGEYUKI;YAMAGUCHI TSUTOMU
分类号 H01L21/266;H01L21/265;H01L21/336;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78 主分类号 H01L21/266
代理机构 代理人
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