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发明名称 Substrate treatment apparatus
摘要
申请公布号 SG67448(A1) 申请公布日期 1999.09.21
申请号 SG19970004219 申请日期 1997.12.02
申请人 TOKYO ELECTRON LIMITED 发明人 FUJIMOTO AKIHIRO
分类号 H01L21/677;B65G49/07;G03F7/16;G03F7/30;H01L21/00;H01L21/02;H01L21/027;H01L21/683;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/677
代理机构 代理人
主权项
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