| 发明名称 |
Combined slurry dispenser and rinse arm and method of operation |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
SG67505(A1) |
申请公布日期 |
1999.09.21 |
| 申请号 |
SG19980001113 |
申请日期 |
1998.02.25 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS, INC. |
发明人 |
KENNEDY DANIEL;FUKSSHIMOV BORIS;BELITSKY VICTOR;BROWN KYLE;OSTERHELD TOM;BEELER JEFF;ADDIEGO GINETTO;FISHKIN BORIS |
| 分类号 |
B24B37/04;B24B53/007;B24B57/02;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/302;B08B11/02;H01L21/306 |
主分类号 |
B24B37/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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