| 摘要 |
<p>Bei einem Rasterelektronenmikroskop mit einem Strahlerzeuger und einer Probenkammer, zwischen denen eine oder mehrere Druckstufenblenden angeordnet sind, durch die ein Primärelektronenstrahl auf eine Probe in der Probenkammer lenkbar ist, wobei die der Probe nächste, unterste Druckstufenblende (18), durch die der Primärelektronenstrahl auf die Probe trifft, dazu eingerichtet ist, einen erhöhten Druck in der Probenkammer gegenüber der übrigen Mikroskopsäule des Rasterelektronenmikroskops abzuschirmen und durch ihre Öffnung Sekundärelektronen von der Probe zu mindestens einem Detektor durchzulassen, ist der Detektor ein hochempfindlicher, gegenüber der Probe positiv vorgespannter Detektor (74). Oberhalb der untersten Druckstufenblende (18) kann mindestens eine Elektrode (44, 55) angeordnet sein, die gegenüber der Druckstufenblende (18) auf positivem Potential liegt und dazu eingerichtet ist, die Sekundärelektronen von der Probe zum Detektor (74) zu lenken. Alternativ ist das Rasterelektronenmikroskop zur Sekundärelektronendetektion durch die Öffnung mindestens einer Druckstufenblende eingerichtet, die schichtweise aus mindestens zwei leitfähigen, voneinander elektrisch isolierten mit Potentialen beaufschlagbaren Schichten aufgebaut ist.</p> |
