| 发明名称 |
Bearbeitungsgerät mittels Mikrowellen und Verfahren zur Herstellung eines anorganischen dielektrischen Films |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69419968(D1) |
申请公布日期 |
1999.09.16 |
| 申请号 |
DE19946019968 |
申请日期 |
1994.05.26 |
| 申请人 |
CANON K.K., TOKIO/TOKYO |
发明人 |
TAKADA, KUNIO;SUZUKI, NOBUMASA;MIYAKOSHI, TOSHIMORI |
| 分类号 |
C23C16/511;G11B7/24;G11B7/26;G11B11/105;(IPC1-7):G11B7/26 |
主分类号 |
C23C16/511 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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