石英管清洗台之超纯水回收管线系统

主权项

1.一种清洗台之超纯水回收管线系统，其中该清洗台具有一超纯水清洗槽、一第一化学清洗槽与一第二化学清洗槽，该超纯水回收管线系统包括：一第一清洗水排水管，其一端系与该超纯水清洗槽相连接，另一端则导引至一超纯水回收预处理系统；一第一气阀，其系设置于该第一清洗水排水管上邻近于该超纯水清洗槽处；一第二清洗水排水管，其一端系连接于该超纯水清洗槽与该第一气阀之间，另一端则导引至该超纯水回收预处理系统；一第二气阀，其系设置于该第二清洗水排水管上邻近于该第一清洗水排水管连接处；一稀酸排水管，其一端系连接于该超纯水清洗槽与该第一气阀之间，另一端则导引至一稀酸收集槽；一第三气阀，其系设置于该稀酸排水管上邻近于该第一清洗水排水管连接处；一浓酸排水管，藉以收集浓酸废液并导引至一浓酸收集槽；一第一化学清洗槽排水管，其一端系与该第一化学清洗槽连接，另一端则与该浓酸排水管相连接，用以排放该第一化学清洗槽之废液至浓酸排水管；一第四气阀，其系设置于该第一化学清洗槽排水管上；一第二化学清洗槽排水管，其一端系与该第二化学清洗槽连接，另一端则与该浓酸排水管相连接，用以排放该第二化学清洗槽之废液至该浓酸排水管；以及一第五气阀，其系设置于该第二化学清洗槽排水管上，藉由控制该等气阀，俾以回收该超纯水清洗槽所排放之废水。2.如申请专利范围第1项所述之清洗台之超纯水回收管线系统，其中该清洗台系为一石英管清洗台。3.如申请专利范围第1项所述之清洗台之超纯水回收管线系统，其中当该第一气阀开启而该第二、第三、第四，与第五气阀关闭时，该第一清洗水排水管可将该超纯水清洗槽之废水排至该超纯水回收预处理系统。4.如申请专利范围第1项所述之清洗台之超纯水回收管线系统，其中当该第二气阀开启而该第一、第三、第四，与第五气阀关闭时，该第二清洗水排水管可将该超纯水清洗槽之废水排至该超纯水回收预处理系统。5.如申请专利范围第1项所述之清洗台之超纯水回收管线系统，其中当该第三气阀开启而该第一、第二、第四，与第五气阀关闭时，该稀酸排水管可将该超纯水清洗槽之废水排至该稀酸收集槽中。6.如申请专利范围第1项所述之清洗台之超纯水回收管线系统，其中当该第四气阀开启而该第一、第二、第三，与第五气阀关闭时，该第一化学清洗槽排水管与该浓酸排水管可将该第一化学清洗槽之废水排至浓酸收集槽中。7.如申请专利范围第1项所述之清洗台之超纯水回收管线系统，其中当该第五气阀开启而该第一、第二、第三，与第四气阀关闭时，该第二化学清洗槽排水管与该浓酸排水管可将该第二化学清洗槽之废水排至浓酸收集槽中。图式简单说明：第一图：其系为一传统石英管清洗台之结构示意图。第二图：其系为本案较佳实施例之石英管清洗台结构示意图。