摘要 |
Термоанемометрический датчик, содержащий чувствительный элемент, установленный в держателе, выполненном в виде диэлектрической подложки с отверстием, при этом чувствительный элемент расположен над отверстием, отличающийся тем, что на участке диэлектрической подложки между отверстием и ее боковыми кромками расположен индукционный нагреватель с по меньшей мере двумя контактами, а чувствительный элемент представляет собой электропроводящее вещество, закреплен на по меньшей мере трех диэлектрических траверсах, прикрепленных к держателю, а соосно с отверстием держателя и вне его плоскости расположен фотоприемник со светофильтром, прозрачным в синей области оптического излучения, при этом оптический вход фотоприемника оптически сопряжен с чувствительным элементом. |