发明名称 Verfahren zur Herstellung von keramischen Materialien mit niedriger Dielektrizitätskonstante
摘要
申请公布号 DE69700403(D1) 申请公布日期 1999.09.16
申请号 DE19976000403 申请日期 1997.12.12
申请人 DOW CORNING CORP., MIDLAND 发明人 BREMMER, JEFFREY NICHOLAS;LIU, YOUFAN
分类号 H01L21/316;(IPC1-7):C04B41/50;C04B41/45 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
地址