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发明名称 Verfahren zur Herstellung dünner Metallfilme
摘要
申请公布号 DE69229762(D1) 申请公布日期 1999.09.16
申请号 DE19926029762 申请日期 1992.05.15
申请人 HORIBA LTD., KYOTO 发明人 TONMITA, KATSUHIKO
分类号 C23C18/08;C23C18/12;C23C18/42;G01N27/12;G01N27/333;G01N27/414;H05K3/10;(IPC1-7):C23C18/12 主分类号 C23C18/08
代理机构 代理人
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