发明名称 Epitaxial growth method of semiconductors on highly lattice mismatched substrates using the buffer layer with solid-liquid phase transition
摘要
申请公布号 GB9916549(D0) 申请公布日期 1999.09.15
申请号 GB19990016549 申请日期 1999.07.14
申请人 ARIMA OPTOELECTRONICS CORPORATION 发明人
分类号 C30B29/04;C30B29/38;H01L21/20;H01L21/205;H01L21/208 主分类号 C30B29/04
代理机构 代理人
主权项
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