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发明名称 AN ELECTRONIC BEAM EXPOSURE DEVICE WITH AN INJECTION-TYPE ELECTRONIC MICROSCOPE
摘要
申请公布号 KR100221919(B1) 申请公布日期 1999.09.15
申请号 KR19970018701 申请日期 1997.05.15
申请人 ADVANTEST CORP. 发明人 IHARA, TOSHIYUKI
分类号 H01J37/305;H01J37/28;H01J37/304;H01L21/027;(IPC1-7):H01J9/12 主分类号 H01J37/305
代理机构 代理人
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