栅结构电容式微型加速度传感器

摘要

本实用新型是一种尺寸小至毫米量级的微型栅结构电容式加速度传感器,主要由兼作可动电极的栅状结构质量块、固定叉指式测量电极、质量块与测量电极构成的电容、支撑质量块的悬空弹性梁和限位锚点构成。其中,质量块仅沿X方向或Y方向运动,具有良好的选择性。此外,本传感器中电容可产生较大变化量,配上相应测量接口电路,不但灵敏度高,而且有利于信号处理。是一种结构简单,工艺易于实现,线性度好的实用微型加速度固态传感器。

主权项

1、一种栅结构电容式微型加速度传感器，包括质量块、测量电极、质量块与电极构成的电容和电容测量接口电路，其特征在于有兼作可动电极的栅状结构质量块、叉指形测量固定电极、支撑栅状质量块的悬空弹性梁和限位锚点。