发明名称 FABRICATING METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR100221115(B1) 申请公布日期 1999.09.15
申请号 KR19940003649 申请日期 1994.02.26
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA 发明人 KOYAMA, YUSKE
分类号 H01L27/04;H01L21/822;H01L21/8242;H01L27/10;H01L27/108;(IPC1-7):H01L27/108 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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