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发明名称 PVD DEVICE
摘要
申请公布号 KR200157368(Y1) 申请公布日期 1999.09.15
申请号 KR19970003090U 申请日期 1997.02.25
申请人 HYUNDAI MICRO ELECTRONICS CO.,LTD. 发明人 NA, YOUNG SUP
分类号 H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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