高精度快速自动调平机构

摘要

本实用新型是在高精度仪器设备用于调平工件。其调平原理是:由电机带动偏心轮转动,基座中的弹簧使顶钉与偏心轮相靠,带动定位钉和定标板沿轴承套上下移动,定标板为气浮止推轴承,端面均布若干个节流微孔;承件台与半球相连,当在半球和半球座之间通以压力空气时,承件台可绕半球座球心转动,由上升气缸带动承件台上下移动。当工件与定标板接近时,形成气膜而间接相靠将工件调平。具有调平精度高、速度快和不损伤工件表面的特点。

主权项

1．本实用新型由电机驱动定标板对承件台上的工件调平，其特征在于电机(1)带动偏心轮(3)转动，基座(12)中的弹簧(20)使顶钉(4)与偏心轮(3)相靠，从而带动定位钉(5)和轴(7)沿轴承套(9)上下移动，均布由若干个节流小孔的定标板(19)固定与轴(7)的端面；在半球座(16)和与承件台(14)相连的半球(15)之间，进行压力空气和真空切换，则承件台(14)可绕半球座球心旋转或被锁紧；上升气缸(17)保证厚度不同的硅片都能被调平。