发明名称 VAPORIZING APPARATUS OF LIQUID SOURCE
摘要
申请公布号 KR200157166(Y1) 申请公布日期 1999.09.15
申请号 KR19960034175U 申请日期 1996.10.17
申请人 HYUNDAI ELECTRONICS IND. CO.,LTD 发明人 BAG, YONG-KOO;YOO, YOUNG-SIK;IM, CHAN;KIM, KYUNG-MIN
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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