| 发明名称 |
METHOD OF MANUFACTURING AN INSULATION LAYER HAVING A FLAT SURFACE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR100220761(B1) |
申请公布日期 |
1999.09.15 |
| 申请号 |
KR19960053579 |
申请日期 |
1996.11.09 |
| 申请人 |
NEC CORPORATION |
发明人 |
SAKAO, MASATO;TAKAISHI, YOSHIIRO |
| 分类号 |
H01L21/302;H01L21/304;H01L21/3065;H01L21/3105;H01L21/316;H01L21/3205;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/320 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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