| 发明名称 |
Position detection method using an optical interference signal and electronic filtering of this signal in the spatial frequency domain |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0573299(B1) |
申请公布日期 |
1999.09.15 |
| 申请号 |
EP19930304328 |
申请日期 |
1993.06.03 |
| 申请人 |
CANON KABUSHIKI KAISHA |
发明人 |
MORI, TETSUYA;MURAKAMI, EIICHI;SHINONAGA, HIROHIKO |
| 分类号 |
G03F7/20;G03F9/00;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):G03F9/00 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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