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发明名称 SUBSTRATE DEVELOPING METHOD AND APPARATUS
摘要
申请公布号 KR100221698(B1) 申请公布日期 1999.09.15
申请号 KR19960043475 申请日期 1996.10.01
申请人 DAINIPPON SCREEN SEIJO K.K 发明人 OKUDA, SEIICHIROU;SKIMOTO, KENJI
分类号 H01L21/027;B05C11/08;G03F7/30;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
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