| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR WASHING SUBSTRATE, LIQUID CRYSTAL DISPLAY APPARATUS AND PRODUCTION THEREOF |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH11244796(A) |
申请公布日期 |
1999.09.14 |
| 申请号 |
JP19980054902 |
申请日期 |
1998.03.06 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
KUBOTA TAKESHI;NOGUCHI KAZUHIKO;YABUSHITA KOJI |
| 分类号 |
B08B1/04;B08B3/02;G02F1/13;G02F1/1333;H01L21/304;(IPC1-7):B08B1/04;G02F1/133 |
主分类号 |
B08B1/04 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
