| 发明名称 |
VAPOR DEPOSITION SOURCE AND VAPOR DEPOSITION APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11246964(A) |
申请公布日期 |
1999.09.14 |
| 申请号 |
JP19980355543 |
申请日期 |
1998.12.15 |
| 申请人 |
ULVAC CORP |
发明人 |
AGAWA YOSHIAKI;YAMAMOTO YOSHIHIRO |
| 分类号 |
G02F1/13;C23C14/24;H01L21/285;(IPC1-7):C23C14/24 |
主分类号 |
G02F1/13 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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