| 发明名称 |
PLASMA CVD METHOD, PLASMA CVD DEVICE AND ELECTRODE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11246974(A) |
申请公布日期 |
1999.09.14 |
| 申请号 |
JP19980053659 |
申请日期 |
1998.03.05 |
| 申请人 |
NISSIN ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
MURAKAMI YASUO;NAKAHIGASHI TAKAHIRO |
| 分类号 |
C23C16/50;C23C16/04;C23C16/26;C23C16/27;C23C16/509;H01J37/32;(IPC1-7):C23C16/50 |
主分类号 |
C23C16/50 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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