| 发明名称 |
FORMATION OF THIN FILM BY LASER VAPOR DEPOSITION METHOD AND LASER VAPOR DEPOSITION DEVICE USED FOR THE METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11246965(A) |
申请公布日期 |
1999.09.14 |
| 申请号 |
JP19980050426 |
申请日期 |
1998.03.03 |
| 申请人 |
SHARP CORP |
发明人 |
KOIDE NAOKI;KOMATSU YUJI;NUNOI TORU |
| 分类号 |
C23C14/28;(IPC1-7):C23C14/28 |
主分类号 |
C23C14/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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