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发明名称 FLATTENING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11245147(A) 申请公布日期 1999.09.14
申请号 JP19980051042 申请日期 1998.03.03
申请人 SUPER SILICON KENKYUSHO:KK;DISCO ABRASIVE SYST LTD 发明人 ABE KOZO;KOMA YUTAKA
分类号 B24B41/02;B23Q1/00;B23Q1/01;B23Q1/66;B24B7/04;B24B7/20;B24B7/22;(IPC1-7):B24B7/04 主分类号 B24B41/02
代理机构 代理人
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