位置测量系统、曝光装置、位置测量方法、曝光方法及元件制造方法、以及工具及测量方法

摘要

晶圆载台WST上面配置有第1光栅(39Y#sB!1#eB!，39Y#sB!2#eB!)，于第1光栅之＋Y侧设置形成有辅助光栅(39Y#sB!3#eB!，39Y#sB!4#eB!)之校准区域。使用此校准区域进行既定校准处理、例如进行使用编码器之读头(64y#sB!1#eB!，64y#sB!2#eB!)等之晶圆载台之位置测量相关联之校准处理，即能在该校准处理后，使用编码器以良好精度进行晶圆载台于既定方向之位置控制。