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经营范围
发明名称
CLEAN ROOM
摘要
申请公布号
JPH11248212(A)
申请公布日期
1999.09.14
申请号
JP19980051756
申请日期
1998.03.04
申请人
HITACHI LTD
发明人
KAIHO MASAYUKI;HAMAMOTO MASAHIRO
分类号
F24F7/06;(IPC1-7):F24F7/06
主分类号
F24F7/06
代理机构
代理人
主权项
地址
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