| 发明名称 |
Method of providing alignment marks, device manufacturing method and lithographic apparatus. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
NL1036635(A1) |
申请公布日期 |
2009.09.07 |
| 申请号 |
NL20091036635 |
申请日期 |
2009.02.25 |
| 申请人 |
ASML NETHERLANDS B.V. |
发明人 |
RICHARD JOHANNES FRANCISCUS VAN HAREN |
| 分类号 |
G03F9/00;G03F7/20;H01L21/68 |
主分类号 |
G03F9/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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