发明名称 FORMATION OF DIAMOND FILM
摘要
申请公布号 JPH11246299(A) 申请公布日期 1999.09.14
申请号 JP19980052552 申请日期 1998.03.04
申请人 KOBE STEEL LTD 发明人 YOSHIMOTO MAMORU;TACHIBANA TAKESHI
分类号 B01J19/12;C23C14/06;C23C14/28;C23C14/34;C30B29/04;(IPC1-7):C30B29/04 主分类号 B01J19/12
代理机构 代理人
主权项
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