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发明名称
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申请公布号 JP2946951(B2) 申请公布日期 1999.09.13
申请号 JP19920206356 申请日期 1992.08.03
申请人 NIPPON DENKI KK 发明人 MORIKAWA HIROSHI
分类号 H01L29/872;H01L21/338;H01L29/417;H01L29/47;H01L29/812;(IPC1-7):H01L21/338 主分类号 H01L29/872
代理机构 代理人
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