发明名称 |
连续真空等离子蒸发金属复合材料生产线 |
摘要 |
本实用新型涉及金属镀膜技术领域,尤其是一种用于金属镀膜的连续真空等离子蒸发金属复合材料生产线,具有入口、真空复合装置和出口,真空复合装置包括真空室,真空室内依次设置进口真空锁、加热系统、反溅射去污系统、离子束活化系统、真空蒸发离子复合系统和出口真空锁,真空复合装置由电控系统控制,加热系统和真空蒸发离子复合系统内设置有排气系统。本实用新型的优点是降低了能耗,提高了复合的效率。 |
申请公布号 |
CN201390781Y |
申请公布日期 |
2010.01.27 |
申请号 |
CN200920037431.X |
申请日期 |
2009.02.13 |
申请人 |
江苏常松机械集团有限公司 |
发明人 |
杨建如;杨建强;杨建栋;杨建丰 |
分类号 |
C23C14/56(2006.01)I;C23C14/24(2006.01)I;C23C14/34(2006.01)I |
主分类号 |
C23C14/56(2006.01)I |
代理机构 |
常州市维益专利事务所 |
代理人 |
王凌霄 |
主权项 |
1.连续真空等离子蒸发金属复合材料生产线,其特征是:具有入口、真空复合装置和出口,真空复合装置包括真空室,真空室内依次设置进口真空锁(1)、加热系统(2)、反溅射去污系统(3)、离子束活化系统(4)、真空蒸发离子复合系统(5)和出口真空锁(6),真空复合装置由电控系统控制,加热系统(2)和真空蒸发离子复合系统(5)内设置有排气系统。 |
地址 |
213023江苏省常州市钟楼区经济开发区星港路CI地块 |