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发明名称 GASEINLASSVORRICHTUNG FÜR EINE BESCHICHTUNGSANLAGE
摘要
申请公布号 DE59602658(D1) 申请公布日期 1999.09.09
申请号 DE19965002658 申请日期 1996.11.01
申请人 AIXTRON AG 发明人 ROEHLE, HELMUT
分类号 F16K11/22;(IPC1-7):F16K11/22 主分类号 F16K11/22
代理机构 代理人
主权项
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