对位晶圆的总成及方法

摘要

明为一种用以对位晶圆的总成及方法，该对位总成包含一输送装置、一承载平台及一取像装置。输送装置适可抓取及置放晶圆，承载平台其上定义有一标准位置，使承载平台可移动地藉由标准位置承载晶圆。取像装置设置于输送装置与承载平台之间，并对晶圆进行一取像程序。其中，输送装置于抓取晶圆后，系将晶圆置于取像装置下方进行取像程序，承载平台接着依据取像程序所计算之一偏移量进行一轴向微调，供输送装置将晶圆置放于承载平台之标准位置。

主权项

【第1项】一种对位总成，用以进行一晶圆的对位作业，包含：一输送装置，适可抓取及置放该晶圆；一承载平台，其上定义有一标准位置，使该承载平台可移动地藉由该标准位置承载该晶圆；以及一取像装置，系设置于该输送装置与该移承载平台之间，并对该晶圆进行一取像程序；其中，该输送装置于抓取该晶圆后，系将该晶圆置于该取像装置下方进行该取像程序，该承载平台接着依据该取像程序计算一偏移量，使该承载平台进行一轴向微调，供该输送装置将该晶圆置放于该承载平台之该标准位置。