| 发明名称 |
Verfahren zur Abscheidung einer Siliziumoxidschicht |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE59602585(D1) |
申请公布日期 |
1999.09.09 |
| 申请号 |
DE19965002585 |
申请日期 |
1996.05.03 |
| 申请人 |
SIEMENS AG |
发明人 |
GABRIC, ZVONIMIR;SPINDLER, OSWALD |
| 分类号 |
C23C16/40;C23C16/44;(IPC1-7):C23C16/40 |
主分类号 |
C23C16/40 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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