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经营范围
发明名称
SCANNING ELECTRON MICROSCOPE
摘要
申请公布号
EP0939969(A1)
申请公布日期
1999.09.08
申请号
EP19970912354
申请日期
1997.11.14
申请人
CARL ZEISS SMT LIMITED
发明人
SUDRAUD, PIERRE;CORBIN, ANTOINE;SAILER, RAINER;BATE, DAVID, JOHN
分类号
H01J37/28;(IPC1-7):H01J37/00
主分类号
H01J37/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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