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发明名称 Scanning electron microscope
摘要
申请公布号 EP0480424(B1) 申请公布日期 1999.09.08
申请号 EP19910117296 申请日期 1991.10.10
申请人 HITACHI, LTD. 发明人 TODOKORO, HIDEO;TAKAMOTO, KENJI;OTAKA, TADASHI
分类号 H01J37/30;G01B15/00;G01B15/04;H01J37/28;(IPC1-7):H01J37/28 主分类号 H01J37/30
代理机构 代理人
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