| 摘要 |
조명 광학계는, 피조명면의 조명 범위를 규정하는 조리개; 상기 조리개의 개구의 화상을 상기 피조명면에 결상하는 촬상광학계; 상기 피조명면의 목표 조명 범위의 크기 B를 사용하는 값(B÷β)에 추가된 오프셋량 δ를 취득하는 취득부 ; 및 식 A=B÷β＋δ를 만족하도록 상기 취득된 오프셋량 δ에 의거하여 상기 개구의 크기 A 를 조정하는 조정부를 구비하고, 상기 β 는 상기 촬상광학계의 결상배율이고, 상기 취득된 오프셋량 δ은 상기 피조명면의 상기 목표 조명 범위의 상기 크기 B 에 따라 다르다. |
