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发明名称 Wafeldrager.
摘要
申请公布号 NL1010321(C2) 申请公布日期 1999.09.08
申请号 NL19981010321 申请日期 1998.10.15
申请人 FLUOROWARE, INC. 发明人 DAVID LEE NYSETH;SHAWN DANIEL EGGUM;MICHAEL SHAWN ADAMS;SANJIV MAHIPAT BHATT;BRIAN SCOTT WISEMAN
分类号 H01L21/673;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/673
代理机构 代理人
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