| 发明名称 |
DEVELOPING METHOD, DEVELOPING DEVICE AND PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11242341(A) |
申请公布日期 |
1999.09.07 |
| 申请号 |
JP19980043133 |
申请日期 |
1998.02.25 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
KUBO SHINJI;SAITO HIDETAKA |
| 分类号 |
G03F7/30;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/30 |
主分类号 |
G03F7/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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